位置編碼器
雷尼紹的HS10長距離激光尺自1994年上市以來就一直廣泛應(yīng)用于最長達(dá)60 m的長軸測量。2001年引入了RLE激光尺系列,使得激光尺應(yīng)用范圍得以進(jìn)一步擴(kuò)展,它配有取得專利的創(chuàng)新“遠(yuǎn)程”激光源和光纖連接的激光發(fā)射頭。該系統(tǒng)可定期更新并新增了可選激光源、干涉鏡配置和實(shí)時(shí)對正交方波信號補(bǔ)償以及配裝各種信號接口。
RLE系統(tǒng)已被全球眾多半導(dǎo)體加工機(jī)械制造商使用,同時(shí)也應(yīng)用于其他各種短距離(小于4 m)測量,在以前無法實(shí)現(xiàn)的測量應(yīng)用中,RLE的特性和功能體現(xiàn)了干涉測量的優(yōu)勢。
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